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UV光解废气处理技术采用高能高臭氧的UV紫外光将恶臭气体分子键断裂，生成离子、原子、自由基等活性物质，同时分解空气中的氧气分子，使其生成臭氧，臭氧有极强的氧化性，与被裂解的臭气分子作用，将其氧化分解成无害物质，如二氧化碳、水等，同时高能电场将恶臭气体分子击穿，产生活性物质，与臭氧作用，被氧化分解成小分子物质。等离子体裂解反应、UV紫外光解反应，臭氧高级氧化反应及协同氧化反应同时发生，两种技术相互协助，使处理效果更好。
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